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“诺利克先生,彼一时此一时,如今bSEc的技术实力快赶上了我们,独霸全球65nm制程工艺的市场份额,正是超过我们的最好时机,我们不能抱有侥幸心理。”

“我支持会长的意见,既然我们已经掌握了多项157nm干式光刻路线的核心技术,引领全球,我们还要加大投资,争取早日研发成功45nm制程工艺,就能重新夺回被bSEc抢走的高端芯片市场份额。”

尼康半导体公司副总裁兼尼康光刻机半导体研究所所长小川郁子,负责开发157nm干式光刻机的研发,支持森佳照明。

“大家都知道,公司到如今还没有预定一台157nm干式光刻机,65nm制程工艺的市场份额已经被bSEc和ASmL瓜分,我听说GcA正在游说三星晶圆厂购买其量产的浸没式光刻机,我们面临的情况非常糟糕。我建议公司继续研发45nm制程工艺的同时,公司投资开始研发浸没式光刻机,两条腿走路!”

常务副总裁原田弘树负责尼康光刻机的生产和销售,由于bSEc浸没式光刻机率先问世,制程工艺达到65nm,还是双工作台,如今正在建设的6条65nm制程工艺的半导体生产线,除了台积电采购了ASmL浸没式光刻机外,其他5条都是采购bSEc浸没式光刻机,公司已经失去了65nm制程工艺光刻机的市场份额,忧心忡忡,开始怀疑公司全球领先的157nm干式光刻机路线。

即使公司率先研制成功45nm制程工艺的干式光刻机,购买了65nm制程工艺浸没式光刻机的晶圆厂,更换干式光刻机需要对生产线进行重新设计,掩膜保护膜也要更新,如果投资很大,没有绝对把握,他们不愿意轻易投资。

“我支持会长的意见,公司重新投入巨资研发浸没式光刻机,如今两条腿走路,公司的财务支持会吃不消。”

尼康半导体公司财务副总裁梅根·兰布林也支持森佳照明。

“我希望光刻机研究所早日研发成功45nm制程工艺的光刻机。”

主持会议的吉田一郎最后总结,给公司的发展路线最后定调。

(本章完)

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